Химическая энциклопедия - ионный микроанализ

,

метод локального анализа, основанный на регистрации масс-спектров вторичных ионов с микроучастков пов-сти твердых тел. Исследуемый образец в вакууме бомбардируют сфокусированным пучком первичных ионов (Аr⁺, О 2⁺, О ^-, Cs⁺ ; диаметр пучка 1-100 мкм, энергия 10^-15 10^-16 Дж, плотн. тока 0,1-10 А/м ²).

Интенсивность эмиссии вторичных ионов i-го элемента (Ii) сильно зависит от параметров первичного ионного пучка (типов ионов, их энергии, плотности тока), анализируемой пробы (характера хим. связей, физ. св-в, потенциала ионизации атомов, работы выхода электронов бомбардируемой пов-сти и др.), давления и состава остаточных газов в приборе.