Словарь иностранных слов русского языка - вапоризация

(франц. vaporisation, от vaporiser, происш. от лат. vapor пар). Улетучивание, испарение, образование пара.(Источник: "Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка". Чудинов А.Н., 1910)выпаривание, обращение в пар.(Источник: "Полный словарь иностранных слов, вошедших в употребление в русском языке". Попов М., 1907)превращение жидкости в пар.