Естествознание. Энциклопедический словарь - планарная технология

(от англ planar -плоский), высокопроизводит. метод группового изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Осн. операции П. т : создание тонкой диэлектрич. плёнки на поверхности кристаллич. полупроводника (Si, Ge, GaAs); удаление способом фотолитографии или электронолитографии определ. участков этой плёнки; введение в кристалл через не защищённые плёнкой участки донорных или акцепторных примесей (легирование). В результате этих операций в кристалле образуются области с электронно-дырочными переходами.

Естествознание. Энциклопедический словарь

.