Физическая энциклопедия - эллипсометрия

совокупность методов изучения поверхностей жидких и тв. тел по состоянию поляризации светового пучка, отражённого этой поверхностью и преломлённого на ней. Падающий на поверхность плоско поляризованный свет приобретает при отражении и преломлении эллиптич. поляризацию вследствие наличия тонкого переходного слоя на границе раздела сред. Зависимость между оптич, постоянными слоя и параметрами эллиптически поляризованного света устанавливается на основании Френеля формул. На принципах Э. построены методы чувствительных бесконтактных исследований поверхности жидкости или тв. в-в, процессов адсорбции, коррозии и др. В кач-ве источника света в Э. используется монохроматическое излучение зелёной линии ртути, а в последнее время -луч лазера, что даёт возможность исследовать микронеоднородности на поверхности изучаемого объекта. Получило развитие также новое направление спектральной Э. в широком интервале длин волн, существенное при исследованиях ат. состава неоднородных и анизотропных поверхностей и плёнок. .