Физическая энциклопедия - ионный микроскоп

электронно-оптич. прибор, в к-ром для получения изображений применяется ионный пучок, создаваемый термоионным или газоразрядным ионным источником. По принципу действия И. м. аналогичен электронному микроскопу. Проходя через объект и испытывая в различных его участках рассеяние и поглощение, ионный пучок фокусируется системой электростатич.

или магн. линз и создаёт на экране или фотослое увеличенное изображение объекта. Работы по усовершенствованию И. м. стимулируются тем, что он обладает более высокой разрешающей способностью по сравнению с электронным микроскопом. Длина волны де Бройля для ионов в ?M/m раз меньше, чем для эл-нов (m масса эл-нов, М масса ионов) при одинаковом ускоряющем напряжении, вследствие чего в И. м. очень малы эффекты искажения, обусловленные дифракцией, к-рые ограничивают в электронном микроскопе его разрешающую способность. Другие преимущества И. м.-меньшее влияние изменения массы ионов при больших ускоряющих напряжениях и лучшая контрастность изображения.

Напр., контрастность изображения органич. плёнок толщиной в 50 А, вызванная рассеянием ионов, в неск. раз превышает контрастность, вызванную рассеянием эл-нов. К недостаткам И. м. относятся: заметная потеря энергии ионов даже при прохождении их через очень тонкие объекты, что приводит к разрушению объектов; большая хроматич. аберрация; разрушение люминофора экрана ионами и слабое фотогр.

действие ионов. Эти недостатки привели к тому, что, несмотря на перечисленные выше преимущества, И. м., по сравнению с электронным, не имеет пока широкого применения. Более эффективен И. м. без линз (см. ИОННЫЙ ПРОЕКТОР). .