Физическая энциклопедия - высокочастотный разряд

электрический разряд в газе под действием ВЧ электрич. поля. В. р. может возникать при расположении электродов как внутри разрядной трубки, так и вне её (безэлектродный разряд), а также при фокусировке эл.-магн. излучения в свободном газе, в частности в атмосфере (световой пробой). Осн. физ. процессы и особенности В. р.: под действием ВЧ электрич.

поля эл-ны приобретают большие энергии и оказываются способными эффективно ионизировать при соударениях атомы или молекулы газа (см. ИОНИЗАЦИЯ); потери эл-нов из газоразрядной плазмы В. р. происходят за счёт объёмной рекомбинации, «прилипания» к молекулам и диффузии; распределение эл-нов по энергиям может иметь сложный хар-р, существенно отличающийся от Максвелла распределения; процессы на граничных поверхностях при В.

р. менее существенны, чем при разряде в пост. электрич. поле. При больших давлениях газа (близких к атмосферному) В. р. между двумя электродами наз. высокочастотной короной, а при достаточной мощности источника он переходит в высокочастотную дугу. Удаляя один электрод, можно получить факельный разряд. При низких давлениях режим В.

р. близок режиму положительного столба тлеющего разряда. В. р. используется для создания плазмы в ионных источниках, в кач-ве источника света в спектроскопии, в мощных мол. лазерах для создания однородной активной среды (см. ГАЗОВЫЙ ЛАЗЕР), в плазмохимии для изучения хим. реакций в газах, в экспериментах по проблеме управляемого термоядерного синтеза для первичного пробоя газа.