Официальная терминология - лазерный эллипсометр

"...Лазерный эллипсометр: прибор оптического неразрушающего контроля, предназначенный для измерения толщины и (или) показателя преломления прозрачных пленок поляризационным методом..."

Источник:

" ГОСТ Р 53696-2009. Национальный стандарт Российской Федерации. Контроль неразрушающий. Методы оптические. Термины и определения"

(утв. и введен в действие Приказом Ростехрегулирования от 15.12.2009 N 1100-ст)

Официальная терминология.

Энциклопедии & Словари.

2012.