Официальная терминология - осаждение распылением

"...6. Осаждение распылением процесс нанесения внешнего покрытия, основанный на передаче импульса, когда положительные ионы ускоряются в электрическом поле в направлении к поверхности мишени (материала покрытия). Кинетическая энергия падающих на мишень ионов достаточна для выбивания атомов с поверхности мишени, которые затем осаждаются на соответствующим образом установленную подложку..."

Источник:

Приказ ФТС России от 27.03.2012 N 575 (ред. от 30.10.2012) "О контроле за экспортом товаров и технологий двойного назначения, которые могут быть использованы при создании вооружений и военной техники и в отношении которых осуществляется экспортный контроль"

Официальная терминология.

Энциклопедии & Словари.

2012.