Энциклопедический словарь по металлургии - металлургия полупроводников

Возникновение этого направления металлургии связано с изобретением в конце 1940-х гг. полупроводникового триода (транзистора). В настоящее время класс полупроводниковых веществ и материалов весьма обширен (Смотри Полупроводниковые вещества). Для их получения применяются как методы, основанные на кристаллизации расплавов, так и методы кристаллизации из паровой (газовой) фазы. Компактные слитки и изделия можно изготовлять также прессованием порошков, экструзией и другими известными в металлургии методами. Полупроводниковые вещества могут иметь монокристаллическую, поликристаллическую, нанокристаллическую и аморфную структуры.

Задача обеспечения высокой чистоты конечного продукта от неконтролируемых примесей наиболее важна в производстве полупроводниковых материалов. При получении (синтезе) полупроводниковых материалов используются высокочистые исходные химические элементы или высокочистые химические соединения. Технологические операции при необходимости осуществляются в специальных чистых производственных помещениях и боксах. Соблюдаются соответствующие условия технологической гигиены. Разработаны и используются разнообразные методы изготовления высокочистых веществ и материалов: ректификационная очистка, возгонка, Si выращивают бездислокационно и при диаметр 200 мм неоднородность свойств не превышает 2-5 %.

Исходя из уровня требований к качеству продукции и тех технологических приемов и оборудования, с помощью которых достигается необходимое качество продукции, полупроводниковую металлургию можно отнести к прецизионной. По объему выпускаемой продукции — это малотоннажное производство. Например, выпуск монокристаллов Si в мировом масштабе составлял в 1994 г. около 7500 т. На рынок кремний большей частью поступает в виде пластин, производство которых достигло в 1994 г. около 15 млрд. см², когда производство германия составляло около 100 т в год, арсенида галлия — десятки т, фосфидов индия и галлия — единицы т;

Смотри также:

— Металлургия

— черная металлургия

— цветная металлургия

— порошковая металлургия

— плазменная металлургия

— космическая металлургия

— вакуумная металлургия

— бескоксовая металлугрия

— атомная металлургия

Энциклопедический словарь по металлургии. — М.: Интермет Инжиниринг.

Главный редактор Н.П. Лякишев.

2000.