Энциклопедический словарь нанотехнологий - анодирование
Анодирование
Термин на английском
anodizingСинонимы
anodising, электрохимическое оксидированиеАббревиатуры
Связанные термины
адгезия, нановискер, пористый материал , мембранаОпределение
электрохимическое окисление поверхности металлов, сплавов и полупроводников
ОписаниеШироко распространена технология анодирования алюминия, титана, тантала, ниобия, кремния, германия, арсенида галлия. Обычно анодирование проводят при постоянном токе в гальваностатическом или потенциостатическом режиме.
В зависимости от вида кислородсодержащей среды, заполняющей межэлектродное пространство, различают анодирование в водных растворах электролитов, в расплавах солей, в газовой плазме, а также плазменно-электролитическое оксидирование.
При анодировании в газовой плазме оксид образуется в результате диффузии анионов кислорода из плазмы. При анодировании в водных растворах продукт представляет собой ориентированный электрическим полем полимеризованный гель оксида металла. Низкотемпературная плазма, образующаяся в непосредственной близости от металла под оксидом, является источником анионов кислорода, необходимых для образования оксида.
В электронной промышленности анодирование в водных растворах электролитов широко применяется при производстве конденсаторов (электролитических, оксидно-полупроводниковых , оксидно-металлических).
Анодирование в расплавах солей применяют для получения оксидных пленок повышенной толщины и микротвердости, в частности, на поверхности меди и железа.
Анодирование в газовой плазме широко применяют в микроэлектронике, так как процесс технологически хорошо совместим с остальными операциями интегральной технологии в едином вакуумном цикле, а также для получения тонкопленочных элементов с туннельным диэлектриком (элементы Джозефсона, триоды с металлической базой, оптоэлектронные элементы), диэлектрика конденсаторов, пассивации поверхности интегральных схем и межкомпонентной изоляции.
Комбинация уникальной пористой структуры (прямые поры управляемого диаметра) с высокой температурной, механической и химической стабильностью делает пленки анодированного оксида алюминия привлекательным материалом для различных применений в области фильтрации и разделения смесей, хранения информации, в сенсорике и для синтеза одномерных наноструктур.
Авторы- Наймушина Дарья Анатольевна
Мембраны анодированного оксида алюминия (АОА) обладают однородной пористой структурой с гексагональной упаковкой цилиндрических каналов и узким распределением пор по размерам. Поперечный скол оксидной пленки. Различными цветами показаны слои, полученные при разных напряжениях анодирования Источник: Нанометр URL: http://www.nanometer.ru | |
СЭМ-изображения 3D-структур на основе тонких пористых пленок анодированного оксида алюминия, сшитых полимерными нитями Источник: Нанометр URL: http://www.nanometer.ru |
Теги
Разделы
Объемные конструкционные и функциональные наноструктурированные материалы и покрытия (металлы и сплавы, керамика, цементы, композиты и гибриды)
Вопрос-ответ:
