Энциклопедический словарь нанотехнологий - кантилевер

Термин на английском

cantileverСинонимы

Аббревиатуры

Связанные термины

атомно-силовая микроскопия, биосенсор, зонд, сканирующая зондовая микроскопияОпределение

устоявшееся название наиболее распространенной в сканирующей зондовой микроскопии конструкции микромеханического зонда Описание

Кантиле?вер представляет собой массивное прямоугольное основание размерами примерно 1,5?3,5?0,5 мм с выступающей из него балкой (собственно кантилевером) шириной около 0,03 мм и длиной от 0,1 до 0,5 мм. Одна из сторон балки является зеркальной (иногда для усиления отражённого лазерного сигнала на неё напыляют тонкий слой алюминия), что позволяет использовать оптическую систему контроля изгиба кантилевера. На противоположном свободном конце балки находится игла, взаимодействующая с измеряемым образцом. Форма иглы может значительно изменяться в зависимости от способа изготовления. Радиус острия иглы промышленных кантилеверов находится в пределах от 5 до 90 нм, лабораторных — от 1 нм.

Как правило, вся конструкция, за исключением иглы, является кремниевым монокристаллом. Кантилеверы изготавливают также из нитрида кремния (Si3N4) или полимеров. Процесс производства схож с производством кремниевого электронного оборудования и включает сухое либо жидкофазное вытравливание подложки. Таким образом, кантилеверы удобны для массового производства.

• Зотов Андрей Вадимович, д.ф.-м.н.
• Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.

Разделы

Зондовые методы микроскопии и спектроскопии: атомно-силовая, сканирующая туннельная, магнитно-силовая и др.