Энциклопедический словарь нанотехнологий - субшероховатость

Термин на английском

subroughnessСинонимы

Аббревиатуры

Связанные термины

шероховатостьОпределение

микрорельеф мельчайших элементов рельефа поверхности, участвующих в формировании ее шероховатости.Описание

Субшероховатость обнаруживается с помощью современных прецизионных методов и средств исследования поверхностей, таких как сканирующий туннельный микроскоп и атомно-силовой микроскоп, которые обладают разрешающей способностью 

порядка 1 – 10 нм. Субшероховатость формируется поверхностными неровностями с характерными размерами по высоте порядка 1 – 100 нм и по шагу 10 –1000 нм. Образование субшероховатости тесно связано с внутренней структурой твердого тела, ее дефектами, а также процессами взаимодействия поверхности с окружающей средой (окисление, адсорбция).  

Авторы

• Добычин Михаил Николаевич, к.т.н.
• Горячева Ирина Георгиевна, д.ф.-м.н.

Теги

Разделы

Планиризация поверхности, полировка

Управляемые методы формирования наноструктур