Большой энциклопедический политехнический словарь - электронный микроскоп

вакуумный электронно-оптич. прибор для наблюдения и фотографирования многократно увеличенного (до 10⁶ раз) изображения объектов, полученного с помощью пучка электронов, ускоренных до больших энергий (30 100 кэВ и более). Для фокусировки электронного пучка в Э. м. применяются магн. (электромагн.) или электростатич. линзы. Исследуемый объект рассеивает, отражает и поглощает электроны. Для исследования объектов в проходящих пучках применяют Э. м. просвечивающего типа, обладающие самой высокой разрешающей способностью (0,2 0,3 нм, а в отд. случаях и выше) по сравнению с др. типами Э. м. Для изучения массивных, непрозрачных для электронов объектов обычно применяют эмиссионные Э. м., в к-рых изображение получают с помощью электронов, испускаемых образцом при нагреве, освещении или бомбардировке его ионами или электронами (разрешающая способность 20 30 нм). Растровые, или сканирующие, Э. м. позволяют исследовать как непрозрачные, так и прозрачные для электронов объекты, на к-рые направляется тонкий пучок электронов, непрерывно обегающий (сканирующий) участок поверхности объекта (разрешающая способность 3 20 нм). Отражательный Э. м. даёт изображение объектов с помощью рассеянных электронов, к-рые проходят через систему линз, увеличивающих изображение (разрешающая способность 30 50 нм). С помощью зеркальных Э. м. получают распределение электрич. потенциала у поверхности исследуемого образца. Электроны отражаются не непосредственно объектом, а экранирующей его эквипотенц. поверхностью (разрешающая способность 100 нм). В теневом Э. м. на образец направляется тонкий электронный луч (зонд), к-рый на удалённом от объекта экране даёт увеличенное теневое изображение объекта (разрешающая способность до неск. десятков нм). С помощью Э. м. можно изучать изображения отд. атомных плоскостей, дислокационные картины в металлах и сплавах, кристаллич. структуру. В кон. 60-х гг. с помощью Э. м. получены фотографии крупных молекул, на к-рых видно расположение ядер нек-рых атомов. См. рис.

Сканирующий электронный микроскоп "Сте-реоскан 180" (Великобритания)

Большой энциклопедический политехнический словарь

2004