Большой энциклопедический политехнический словарь - геттерно-ионный насос

геттерный вакуумный насос, в к-ром наряду с хемосорбцией возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распылённого геттера. Различают испарительно-ионные насосы, в к-рых ионизиров. газ направляется к непрерывно или периодически испаряемой поверхности геттера, и магнитные электроразрядные насосы.

Большой энциклопедический политехнический словарь

2004