Большой энциклопедический политехнический словарь - химическое осаждение

из газовой фазы получение твёрдых в-в с помощью хим. реакций, в к-рых участвуют газообразные в-ва. X. о. используют для создания защитных покрытий из тугоплавких в-в, нанесения слоев ПП, сверхпроводников, диэлектриков, металлизации (закрепление в металлич. матрице) алмазов, изготовления деталей сложной конфигурации (напр., вольфрамовых сопел ракет по реакции WF4 + ЗН2 -> W + 6HF).

Большой энциклопедический политехнический словарь

2004