Большой энциклопедический политехнический словарь - катодное распыление

распыление в-ва с поверхности твёрдого тела при бомбардировке его ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей и выявления структуры в-ва (ионное травление), получения в-ва в распылённом состоянии в процессах нанесения тонких металлич. покрытий на разл. материалы (стекло, ткани, бумагу, металл и т. п.).

Большой энциклопедический политехнический словарь

2004