Большой энциклопедический политехнический словарь - молекулярный насос

механический вакуумный насос, откачивающее действие к-рого осн. на увлечении молекул газа непрерывно движущимися поверхностями. Разработка М. н. (цилиндрических напр., насосов Геде, Хольвека; дисковых напр., насоса Зигбана и др.) проводилась в нач. 20 в. Однако быстрый прогресс в обл. создания диффузионных, турбомолекулярных, криогенных насосов позволил создать насосы, намного превосходящие молекулярные по технич. хар-кам. При быстроте действия от неск. л/с до 200 л/с предельное остаточное давление М. н. может достигать 1*10^-4 Па. М. н. обычно используются в качестве выходных ступеней турбомолекулярных насосов.

Большой энциклопедический политехнический словарь

2004