Большой энциклопедический политехнический словарь - планарная технология

(от англ. planar плоский) высокопроизводит. метод группового изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Осн. операции П. т.: нанесение тонкой диэлектрич. плёнки на поверхность кристаллич. полупроводника (Si, Ge, GaAs и др.); удаление способом фотолитографии или электронолитографии определ. участков этой плёнки; введение в кристалл через незащищённые плёнкой участки донорных или акцепторных примесей (легирование). В результате этих операций в кристалле образуются области с р п-переходами.

Большой энциклопедический политехнический словарь

2004