Большой энциклопедический политехнический словарь - вакуум
Вакуум
(от лат. vacuum пустота) в технике состояние заключ. в сосуд газа, имеющего давление, значительно ниже атмосферного. Поведение газа в вакуумных устройствах определяется соотношением между длиной свободного пробега I молекул (или атомов) и размером d, характерным для данного прибора или процесса (напр., расстояние между стенками сосуда, диаметр трубопровода, расстояние между электродами). В зависимости от соотношения l и d различают В. низкий (д<<d), средний (l~d) и высокий (l>>d). В вакуумных приборах н установках с d ~ 10 см низкому В. обычно соответствует область давлений выше 100 Па, среднему от 100 до 0,1 Па, высокому от 0,1 Па до 10 мкПа. Область давлений ниже 10 мкПа относят к сверхвысокому В.
Большой энциклопедический политехнический словарь
2004