Металлы и сплавы Справочник - химическое покрытие паром

Chemical vapor deposition (CVD) — Химическое покрытие паром.Процесс нанесения покрытия подобно газовой карбюризации и нитроцементации путем подачи газообразного реагента в камеру обработки, где он контактирует с поверхностью заготовки, выделяя материал для абсорбции или аккумулирования на рабочей поверхности. Оставшийся газ удаляется из камеры обработки, вместе с избыточным газом атмосферы. (Источник: «Металлы и сплавы. Справочник.» Под редакцией Ю.П. Солнцева; НПО "Профессионал", НПО "Мир и семья"; Санкт-Петербург, 2003 г.)

.