Металлы и сплавы Справочник - металлизация распылением

Sputtering — Металлизация распылением.Бомбардировка твердой поверхности потоком энергетических частиц (ионов), приводящая к выбросу атомов. Этот метод может использоваться как источник для нанесения металла. (Источник: «Металлы и сплавы. Справочник.» Под редакцией Ю.П. Солнцева; НПО "Профессионал", НПО "Мир и семья"; Санкт-Петербург, 2003 г.)

.