Большой энциклопедический словарь - молекулярный насос

МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС вакуумный насос, действие которого основано на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости при соударении их с быстро вращающимся (частота вращения до 90 тыс. об/мин) ротором. Различают молекулярные насосы цилиндрические, дисковые, конические и др. Остаточное давление от 10 до 10-9 Па. .