Энциклопедический словарь нанотехнологий - гомоэпитаксия

Термин на английском

homoepitaxyСинонимы

Аббревиатуры

homoepiСвязанные термины

эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная, эпитаксия жидкофазная, эпитаксия молекулярно-лучевая, методОпределение

вид эпитаксии, при котором материал наращиваемого слоя и материал подложки один и тот же. Отличие возможно только в содержании легирующей примеси.Описание

Технология гомоэпитаксии используется для выращивания слоев с иным содержанием примеси, чем в подложке, и для создания слоев с различным уровнем легирования.Авторы

• Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.

Иллюстрации

Теги

Разделы

Эпитаксиальные слои

Эпитаксиальные слои

Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин

Твердотельные гибридные и гетероструктуры на основе полупроводников, металлов и магнетиков

Нанотехнологии в фотонике и оптоэлектронике, компонентная база и устройства

Наноэлектроника, компонентная база и устройства