Энциклопедический словарь нанотехнологий - эпитаксия
Эпитаксия
Термин на английском
epitaxyСинонимы
Аббревиатуры
Связанные термины
гетероструктура полупроводниковая, гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, подложка, эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная, эпитаксия жидкофазная, эпитаксия молекулярно-лучевая, методОпределение
ориентированный рост одного монокристалла на монокристаллической поверхности другогоОписание
Важное значение для получения эпитаксиальных слоев высокого кристаллического совершенства являются: чистота поверхности подложки, скорость нанесения материала и температура процесса. Рост эпитаксиальных пленок может происходить из газовой, жидкой или твердой фазы, поэтому различают газофазную эпитаксию, жидкофазную эпитаксию, твердофазную эпитаксию и молекулярно-лучевую эпитаксию.
Монокристаллическая подложка задает параметры роста пленки, поэтому кристаллическая структура и ориентация эпитаксиальной пленки совпадает со структурой и ориентацией подложки. Это отличает эпитаксиальный рост от роста тонких пленок, когда наблюдается рост поликристаллических или аморфных пленок даже на монокристаллических подложках. Если состав пленки и подложки совпадают, процесс называют гомоэпитаксией, если нет, то гетероэпитаксией.
Эпитаксиальный рост широко используется в нанотехнологиях и производстве полупроводниковых приборов для создания слоев полупроводниковых материалов с высоким кристаллическим качеством, таких как кремний-германий, нитрид галлия, арсенид галлия и фосфид индия.
Авторы- Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
- Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
Теги
Разделы
Эпитаксиальные слои
Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин
Вопрос-ответ:
