Поиск в словарях
Искать во всех

Энциклопедический словарь нанотехнологий - эпитаксия газофазная

 

Эпитаксия газофазная

Термин

Термин на английском

metalorganic vapour phase epitaxy Синонимы

Аббревиатуры

MOVPEСвязанные термины

гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, нановискер, химическое осаждение из паров металлорганических соединений, эпитаксия молекулярно-лучевая, методОпределение

1) разновидность эпитаксии как одного из нанотехнологических методов получения полупроводниковых гетероструктур;

2) разновидность метода химического осаждения из газовой фазы, при которой формируются эпитаксиальные пленки. 

Описание

Газофазное эпитаксиальное наращивание на подложке монокристаллических слоев полупроводниковых веществ осуществляется из металлоорганических соединений в реакторе при пониженном давлении. Газофазная эпитаксия первоначально разрабатывалась для выращивания кремния и арсенида галлия, сейчас применяется для выращивания большинства полупроводниковых материалов, используемых в микрои оптоэлектронике. В реакторе располагаются подложки (тонкие срезы монокристалла), к которым поступает газовая смесь. При выращивании кремния основным компонентом газовой смеси является тетрахлорид кремния SiCl4 или силан SiH4, при выращивании арсенидов и фосфидов алкилы соответствующих металлов (Ga(CH3)3, Al(CH3)3, Ga(C2H5)3, In(C2H5)3), а также арсин AsH3 и фосфин PH3. Газовая смесь при высокой температуре пиролитически разлагается вблизи поверхности роста, и элементы третьей группы взаимодействуют с элементами пятой группы, образуя соединения AIIIBV. В результате происходит послойное формирование полупроводникового соединения. С помощью газовой эпитаксии выращивают гетероструктуры GaAlAs/GaAs с квантовыми ямами для инжекционных лазеров, гетероструктуры GaAs/GaAlAs с селективным легированием, гетероструктуры с квантовыми точками, широкозонные полупроводниковые материалы на основе GaN для изготовления синих и зелёных светодиодов и коротковолновых лазеров.

Авторы

  • Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
Ссылки

  • А. И. Гусев. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
  • Иллюстрации

    Схема реактора установки газофазной эпитаксии


    Теги

    Разделы

    Эпитаксиальные слои

    Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги)

    Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем

    Рейтинг статьи:
    Комментарии:

    Вопрос-ответ:

    Что такое эпитаксия газофазная
    Значение слова эпитаксия газофазная
    Что означает эпитаксия газофазная
    Толкование слова эпитаксия газофазная
    Определение термина эпитаксия газофазная
    epitaksiya gazofaznaya это
    Ссылка для сайта или блога:
    Ссылка для форума (bb-код):