Энциклопедический словарь нанотехнологий - химическое осаждение из паров металлорганических соединений

Термин на английском

metalorganic chemical vapour depositionСинонимы

Аббревиатуры

MOCVDСвязанные термины

физическое осаждение из газовой фазы, эпитаксия газофазнаяОпределение

разновидность метода химического осаждения из газовой фазы, в которой в качестве прекурсоров используются летучие металлоорганические соединения.Описание

Авторы

• Журавлева Наталья Геннадиевна
• Шляхтин Олег Александрович, к.х.н.

Иллюстрации

Теги

Разделы

Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги)

Методы нанесения элементов наноструктур и наноматериалов

Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем