Большой энциклопедический политехнический словарь - полупроводниковая интегральная схема

интегральная схема, в к-рой все элементы (транзисторы, резисторы, конденсаторы и др.), а также межэлементные соединения выполнены в объёме и на поверхности монокристаллич. ПП пластины (преим. из кремния) одновременно в одном технологич. цикле. П. и. с. изготовляют, как правило, методами планарной технологии с использованием эпитаксии, диффузии, ионного легирования, фотолитографии, нанесения тонких металлич. плёнок и т. д., что обеспечивает достаточно высокую плотность их упаковки. Осн. недостатки П. и. с. малые номин. значения параметров пассивных элементов, а также их низкая температурная стабильность.

Большой энциклопедический политехнический словарь

2004