Физическая энциклопедия - электронные зеркала
Электронные зеркала
электрич. или магн. системы, отражающие пучки эл-нов и предназначенные либо для получения с помощью таких пучков электронно-оптич. изображений либо для изменения направления движения эл-нов. Большинство Э. з.системы, симметричные относительно нек-рой оси (см. ЭЛЕКТРОННАЯ И ИОННАЯ ОПТИКА). Рис. 1. Осесимметричные двухэлектродные электронные зеркала: V1 и V2 потенциалы электродов.
Тонкие линии сечения эквипотенциальных поверхностей плоскостью рисунка. Линии со стрелками траектории эл-нов с разной энергией. Зеркала а и б всегда рассеивающие. Зеркала в, г и 9 могут быть как рассеивающими, так и собирающими. Электростатич. осесимметричные Э. з. (рис. 1) используют для создания правильных электронно-оптич. изображений объектов.
Если последний электрод такого Э. з. сплошной и эл-ны меняют направление движения непосредственно вблизи его поверхности, то можно получить увеличенное изображение микрорельефа этой поверхности. Рис. 2. Электростатич. цилиндрич. электронное зеркало: 1 и 2 электроды с потенциалами V1 и V2. В зеркальном электронном микроскопе используется именно это св-во Э.
з. Цилиндрические Э. з. с двумерным электрич. (рис. 2) или магн. полем (напряжённость поля внутри зеркала не зависит от координаты х) применяют для изменения направления электронных пучков, причём для эл-нов, движущихся в ср. плоскости зеркала, угол падения равен углу отражения, как и при отражении луча света от оптич. зеркала. Т. н.
трансаксиальные Э. з. (рис. 3) отличаются малыми аберрациями (погрешностями изображений) в направлении, параллельном средней плоскости Э. з. Рис. 3. Электростатич. трансаксиальное электронное зеркало: 1 и 2 электроды с потенциалами V1 и V2; R радиус кривизны зазора между электродами. .