Большой энциклопедический политехнический словарь - ионный микроскоп

ионно-оптич. прибор для получения увеличенного изображения с помощью ионных пучков. По принципу действия аналогичен электронному микроскопу. В И. м. поток ионов, создаваемый термоионным или газоразрядным источником, проходя через исследуемый объект и испытывая в разл. его участках рассеяние и поглощение, фокусируется системой электростатич. илимагн. ливз и создаёт на экране или фотослое увелич. изображение объекта. По сравнению с электронным микроскопом И. м. имеет более высокие разрешающую способность и контраст изображения. Недостатки заметная потеря энергии ионов даже при прохождении через очень тонкие объекты, что приводит к разрушению последних; большая хроматин, аберрация; разрушение ионами люминофора экрана; слабое фотогр. действие ионов. Имеет огранич. применение.

Большой энциклопедический политехнический словарь

2004