Большой энциклопедический политехнический словарь - ионный проектор

безлинзовый ионно-оптич. прибор для получения увеличенного (в 10° 10⁷ раз) изображения поверхности твёрдого тела. Представляет собой конусообразную стек. колбу, дно к-рой (экран) покрыто слоем люминофора; в центре колбы расположен острийный (игольчатый) электрод (объект исследования), окружённый кольцевым электродом. При создании между электродами разности потенциалов в неск. кВ атомы (или молекулы) газа ионизуются в тонком слое вблизи исследуемой поверхности. Возникающие при ионизации электроны уходят на острие, а положит. ионы устремляются к экрану и бомбардируют его, вызывая свечение люминофора. В результате на экране воспроизводится распределение плотности ионного тока, отражающее в увелич. масштабе структуру поверхности острия. Давление газа в И. п. обычно не превышает долей Па. Разрешающая способность достигает 10^-8 см. С помощью И. п. можно наблюдать расположение отд. атомов в кристаллич. решётке. И. п. применяют для исследования атомной структуры металлов и сплавов, дефектов в кристаллах, коррозии, св-в тонких плёнок и т. п.

Большой энциклопедический политехнический словарь

2004